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MEMS 一氧化碳/氫氣傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當傳感器所處存在氣體環(huán)境中時，傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
傳感器特點
低功耗
高靈敏度
MEMS工藝,結構堅固
簡單的驅動電路
快速的響應恢復特性
主要應用
檢測氣體種類：
一氧化碳（CO）：10-5000ppm
氫氣（H2）：10-500ppm
適用于手機等電子產品、家庭、商業(yè)等不用場合的一氧化碳或煤氣泄漏監(jiān)測裝置、氣體撿漏儀、防火/安全探測系統(tǒng)
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